| 微电子科学与工程
微机电系统（MEMS）技术导论 课程教学大纲
Course Outline
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课程基本信息（Course Information） |
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课程代码 （Course Code） |
MR429 |
*学时 （Credit Hours） |
32 |
*学分 （Credits） |
2 |
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（Course Title） |
（中文）微机电系统（MEMS）技术导论 |
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（英文）Introduction to MicroElectroMechanical System ( MEMS) Technology |
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*课程性质 （Course Type） |
选修 |
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授课对象 （Target Audience） |
微电子科学与工程专业（本科生）高年级本科生 |
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*授课语言 (Language of Instruction) |
中文 |
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*开课院系 （School） |
微纳电子学系 |
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先修课程 （Prerequisite） |
大学物理 |
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授课教师 （Instructor） |
吴校生 |
课程网址 (Course Webpage) |
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*课程简介（Description） |
MEMS技术是一门多学科交叉的前沿新兴技术，它由微电子加工技术衍生而来，它开辟了一种从微小尺度上创建事物的一种全新方法。MEMS器件体积小（封装后和ＩＣ芯片大小相仿）、功耗低、成本低、集成度和可靠性高。基于MEMS技术的微传感器（如：微惯性传感器、压力传感器、磁传感器、拾音器等）、执行器（投影仪中的微镜阵列，喷墨打印机喷墨头等）已经对人类生活产生了广泛而深远的改善，并且必将在未来的物联网、智能家居、工业自动化等领域继续产生深远效应。本课程针对MEMS技术中的基本概念、MEMS材料、MEMS加工，在工业、汽车、生命科学、光学、射频通讯等领域中典型MEMS器件及其应用等方面进行讲解。通过本课程的学习，学生能掌握MEMS技术中的基本概念，典型MEMS器件的工作机理、实现技术及其应用，同时对该项技术的研究前沿有初步的了解。 |
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*课程简介（Description） |
MEMS technology is a kind of multi discipline course. MEMS technology originates from Integrated Circuit silicon manufacture technology. MEMS technology is a novel method to create things. MEMS devices have the advantages of small size, low consumption, low cost, high integration and reliability. The micro sensors and micro actuators based on MEMS technology is changing our lives and will further greatly improve our lives in the future. The content of the course contains: MEMS concept, MEMS material, micro fabrication technology, typical MEMS devices and their applications in the regions of industry, automobile, biology, optical, RF communication etc. After completing the course, the concepts about MEMS, typical MEMS actuation and sense mechanism, MEMS enable technology will be mastered. |
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课程教学大纲（course syllabus） |
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*学习目标(Learning Outcomes) |
1．学习多学科交叉领域中工程应用的使能技术；（A5.2.3） 2．提高学生理论与实际应用相结合的能力； (B9.3, B10.1) 3．通过一系列MEMS器件中创新方法的学习，激发学生创新意识，培养创新潜能。（C4） |
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*教学内容、进度安排及要求 (Class Schedule &Requirements) |
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*考核方式 (Grading) |
期终成绩（70%）+ 平时作业成绩（20%）+ 出席情况（10%） |
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*教材或参考资料 (Textbooks & Other Materials) |
1 《Introduction to Micro Electro Mechanical System》Second Edition, Nadim Maluf, KIrt Williams，Artech House, 2004 2 《Foundations of MEMS》, Second Edition, Chang Liu，Prentice Hall, 2011 3 “There’s plenty of room at the bottom”, Feynman given on Oct. 29, 1959 in Caltech, Resonance, 2011, Vol.16, Iss.9, pp.890-905 |
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其它 （More） |
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备注 （Notes） |
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备注说明：
1．带*内容为必填项。
2．课程简介字数为300-500字；课程大纲以表述清楚教学安排为宜，字数不限。